Hafnium Tetrachloride
HfCl4, 염화하프늄염화 하프늄은 흰색의 파우더형 제품으로, 염화지르코늄과 성질이 비슷하며, 반도체용 소재의 원료로 사용됩니다.
Applications
- 1. 반도체용 전구체
- 2. 스마트폰 렌즈용 박막 필름
- 3. 촉매
Origin
ATI Metals (USA)
Specification (Sublimed grade)
| PRODUCT CHEMISTRY COMPOSITION | Element | UOM | Spec |
|---|---|---|
| AI | ppm | < 25 |
| Co | ppm | < 25 |
| Cr | ppm | < 50 |
| Fe | ppm | < 20 |
| Hf | ppm | < 25 |
| INS | pct | < 0.1 |
| Si | ppm | < 25 |
| Ti | ppm | < 25 |
| Nom Purity | pct | |